Keysight B1500A 半導體器件參數(shù)分析儀是精密電流-電壓分析儀系列的一款一體化分析儀，支持 IV、CV、脈沖/動態(tài) IV 等功能，專為從基礎到尖端應用的全方位表征而設計。它提供廣泛的測量功能，涵蓋器件、材料、半導體、有源/無源元件或幾乎任何其他類型的電子設備的電氣特性和評估，具有無與倫比的測量可靠性和效率。此外，B1500A 的模塊化架構具有 10 個可用插槽，如果您的測量需求隨時間變化，您可以添加或升級測量模塊。

Keysight EasyEXPERT group+ 基于 GUI 的表征軟件可在 B1500A 的嵌入式 Windows 10 平臺（配備 15 英寸觸摸屏）上使用，也可以在 PC 上使用，以加快表征任務的執(zhí)行速度。它支持從測量設置和執(zhí)行到分析和數(shù)據(jù)管理的整個表征過程中高效且可重復的器件表征，無論是交互式手動操作還是與半自動晶圓探針儀一起實現(xiàn)
整個晶圓的自動化。EasyEXPERT group+ 提供數(shù)百種即用型測量（應用測試），讓您能夠輕松地立即執(zhí)行復雜的器件表征，并允許您選擇在每次測量后自動將測試條件和測量數(shù)據(jù)存儲在獨特的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫（工作區(qū)）中，確保有價值的信息不會丟失，并且可以在以后重復測量。Keysight B1500A 具有這些多功能功能，為器件表征提供了完整的解決方案。

基本功能（測量能力）：

電流與電壓 （IV） 測量

? 0.1 fA - 1 A 和 0.5 μV - 200 V 的準確和精密測量范圍

? 點和掃描測量

? 時間采樣測量（最小采樣率 100 μs）

? 使用 MCSMU 進行脈沖測量，最小脈沖寬度為 50 μs，使用 HPSMU、MPSMU 或 HRSMU 的最小脈沖寬度為 500 μs

? ASU（atto-sense 和 switch unit）可與 MPSMU 或 HRSMU 一起使用，以提供 0.1 fA 測量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換

? 每種 SMU 類型（HPSMU、MPSMU 和 HRSMU）提供兩種模數(shù)轉(zhuǎn)換器選擇（高分辨率 ADC 或高速 ADC）

電容測量

? 多頻交流阻抗測量支持 CV（電容與電壓）、C-t（電容與時間）和 C-f（電容與頻率）測量

? 電容測量頻率范圍為 1 kHz 至 5 MHz

? 帶漏電流補償?shù)臏熟o態(tài)電容電壓 （QS-CV） 測量

? 使用可選的 SCUU（SMU CMU 統(tǒng)一單元）和 GSWU（保護開關單元）或一對 ASU 在 IV 和 CV 測量之間自動切換

脈沖 IV/快速 IV/瞬時 IV 測量

? 為超快速 IV（電流-電壓）、脈沖 IV 和瞬態(tài) IV 測量提供高速和高靈敏度測量能力，包括 NBTI/PBTI 和 RTN（隨機電報信號噪聲）測量

? 具有 10 ns 可編程分辨率的任意波形生成

? 同步高速電壓/電流測量（200 MSa/s，5 ns 采樣率）SMU 技術支持脈沖 IV 測量，無負載線效應

脈沖生成

? 高達 ±40 V 的電壓脈沖和任意波形生成，用于非易失性存儲器評估

? 單通道 2 級和 3 級脈沖能力

B1500A 平臺

? 15 英寸觸摸屏支持直觀 GUI 的所有功能，便于設備表征

? 可配置和可升級的測量模塊，每個主機有 10 個插槽

? GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 視頻輸出端口

EasyEXPERT group+ 軟件

? 特性分析環(huán)境可在主機（嵌入式 Windows 10）或用戶的 PC 上使用

? 基于圖形用戶界面的直觀操作，包括鍵盤、鼠標操作和觸摸屏

? 應用測試模式提供數(shù)百種即用型應用測試，以便快速執(zhí)行測量

? 經(jīng)典測試模式可輕松訪問儀器的全部功能

? 圖形顯示和分析功能有助于進行前端數(shù)據(jù)分析，無需額外的實用程序，并支持將報告生成為圖像數(shù)據(jù)或 Excel 數(shù)據(jù)

? 個性化內(nèi)置數(shù)據(jù)庫（工作區(qū)）自動記錄測試數(shù)據(jù)，簡化數(shù)據(jù)管理，不會煩惱大量數(shù)據(jù)文件

? 示蹤測試模式支持曲線示蹤器（如旋鈕）控制測量參數(shù)，以支持交互式實時設備表征和自動數(shù)據(jù)記錄功能

? 示波器視圖（適用于 MCSMU）支持脈沖電壓和電流波形查看，以便快速輕松地進行定時驗證

? 快速測試模式支持無需編程即可進行測試排序

? Keysight B2200A、B2201A 和 E5250A 開關矩陣的基于 GUI 的控制基于 GUI 的自檢、自校準和診斷菜單，用于硬件維護

? EasyEXPERT 遠程控制功能支持通過 LAN 接口以交互方式在 GUI 上創(chuàng)建的應用程序測試的遠程測量執(zhí)行

? 數(shù)據(jù)備份功能和各種數(shù)據(jù)保護功能，供多個用戶共享使用

? EasyEXPERT group+ 可以根據(jù)需要安裝在任意數(shù)量的 PC 上，無需額外付費，即可在您所在部門的用戶中利用離線個人分析儀環(huán)境。